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      無氧烘箱

      無氧烘箱|12寸晶圓烘箱|MES無氧箱

      產品品牌:HASUC

      產品介紹及技術參數
      無氧烘箱 12寸晶圓烘箱 MES無氧箱
      一.概述:
      無氧化烘箱,在工作時,工作室內充滿了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時被氧化。無氧化烘箱在工業中的用途:IC包裝,LCD,晶體管,傳感器,二極管,石英晶體振蕩器,混合集成電路板……
      二.產品技術參數
      1.名稱及型號:無氧烘箱/烤箱/烘烤箱QMO-500
      2、主要技術指標:
      2.1含氧量:< 20ppm,50ppm,100ppm,含氧量:<=5000ppm;
      2.2溫度范圍: RT(室溫)+60~ +250℃;
      2.3溫度均勻度:±1.5%;
      2.4溫度波動度:±0.5℃(空載)
      2.5溫控精度:±0.1℃;
      2.6烘箱擱板為活動形式。
      2.7工作尺寸:W800×H800×D800
      2.8電源:380V 3φ 50HZ 8Kw
      3、箱體結構:
      3.1烘箱由箱體部分、電器控制柜部分、電加熱及風道系統部分組裝而成,結構合理,外觀美觀大方;
      3.2全周氬焊,耐高溫硅膠迫緊,SUS304#不銹鋼電熱產生器,防機臺本身產生微塵;
      3.3箱體材料:外箱采用SS41#中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵;
      3.4內膽材料:采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時產生PARTICLE;
      3.5中桶材料:采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密封加工(防污染)。
      3.6保溫材料:硅酸鋁棉;
      3.7夾層降溫:水冷降溫.(從250度降到60度預計50分鐘內)
      4、可靠的測控系統
      4.1溫控裝置:智能控制系統,日本優易控
      10〃TFT真彩觸摸薄屏
      程式編輯:可預編120個程式,每個程式可編99段,共1200段
      歷史數據查詢(數據可以通過USB接口導出)
      溫度、含氧量曲線可同時顯示
      4.2溫控輸出:SSR輸出,歐姆龍繼電器,固態繼電器
      4.3含氧量分析儀:配國產含氧量分析儀(上海英盛ZO-802)。         
      4.4氮氣系統:N2流量計控制進氣量;入氣口:10mm;排氣口:φ100,位于箱體頂部,排氣可設定時間段。
      5、完善的安全保護措施:漏電斷路器//超溫保護//欠相保護//馬達過載電流保護//機臺異常蜂鳴器警示

      產品參考圖:
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